表面改性主要包括表面刻蚀、交联和化学改性三方面。
　　1.表面刻蚀如用氧等离子体处理高分子物(包括天然和合成纤维)，在表面发生氧化分解反应，可以改善材料的粘合、染色、吸湿、反射光线、摩擦、手感、防污、抗静电等性能。
　　2.交联改性通过低温等离子体中活性粒子的冲击，有机化合物中的氢原子等被放出，分子链被切断，从而形成自由基，再通过自由基的相互结合，分子链间有可能形成交联。据报导聚氯乙烯薄膜经氢、一氧化碳等的低温等离子体处理后，形成了交联，其他高分子物也有这种可能，用于改变这些材料的性能。
　　3.化学改性通过低温等离子体处理高分子物质，使其表面的分子中的基团发生化学反应，改变化学组成，引起其表面化学性质发生变化，也同时引起其表面某些物理性质相随变化，例如通过氧等离子体处理，使高分子物表面分子链中引人含氧的基团(拨基、醛基、按基等)，使织物表面极性和亲水性增加，也带来粘合、染色、吸湿等性能增强。又如用氢和氮的混合气体的低温等离子体处理，可以引人氨基。通过含氟气体的低温等离子体处理，可引人氟原子，使织物具有拒水性等。